【武汉纯水设备】电子行业电阻率≥18MΩ·cm超纯水设备

电子行业对超纯水的水质要求极为严苛，尤其是电阻率需达到≥18MΩ·cm（25℃），同时需控制总有机碳（TOC）、颗粒物、微生物等指标。

一、水质标准

1、电阻率：≥18MΩ·cm（25℃），高标准需达到18.25MΩ·cm（如芯片清洗）。

2、TOC：通常要求<5ppb。

3、颗粒物：≤0.1个/ml（粒径≥0.1μm）。

4、微生物：≤1CFU/mL。

二、工艺流程

1. 原水处理：去除悬浮物、余氯及大颗粒，常用石英砂、活性炭过滤器和软化器。

2、保安过滤器：5μm滤芯保护后续RO膜。

3、双级反渗透（RO）：去除95%以上的离子、胶体及有机物，延长EDI寿命。一级RO出水电阻率约0.05-1MΩ·cm，二级RO提升至5-15MΩ·cm。

4、 EDI膜堆：通过电场驱动离子迁移，结合离子交换树脂连续脱盐，无需化学再生。将电阻率提升至5-16MΩ·cm，显著降低TOC和颗粒物。

5、抛光混床树脂：核子级树脂，去除残余离子及弱电解质，最终电阻率≥18MΩ·cm。

6、紫外线杀菌：破坏微生物DNA，降低TOC。

7、精密过滤：0.22μm滤芯拦截微粒，确保水质稳定性。

电子行业超纯水设备需以“预处理+双级RO+EDI+抛光树脂”为核心工艺，确保电阻率≥18MΩ·cm。实际应用中需根据企业需求定制方案，并关注环保与成本优化。武汉反渗透纯水设备武汉EDI超纯水处理设备 武汉工业纯水设备 武汉实验室超纯水设备 武汉医药纯化水设备